刊名:光学精密工程
曾用名:光学机械
主办:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;中国仪器仪表学会
主管:中国科学院
ISSN:1004-924X
CN:22-1198/TH
语言:中文
周期:月刊
影响因子:1.761255
数据库收录:
文摘杂志;北大核心期刊(2004版);北大核心期刊(2008版);北大核心期刊(2011版);北大核心期刊(2014版);北大核心期刊(2017版);化学文摘(网络版);中国科学引文数据库(2011-2012);中国科学引文数据库(2013-2014);中国科学引文数据库(2015-2016);中国科学引文数据库(2017-2018);中国科学引文数据库(2019-2020);工程索引;哥白尼索引;日本科学技术振兴机构数据库;文摘与引文数据库;中国科技核心期刊;期刊分类:仪器仪表工业
期刊热词:
现代应用光学
文章摘要:提出了一种外差式利特罗结构的高光学细分读头设计方案,该读头设计实现了8倍光学细分,从而提高了测量系统的分辨力,实现精密测量。基于光栅衍射原理和多普勒频移分析了该读头的测量原理,构建光栅干涉仪读头的测量模型。使用ZEMAX仿真软件搭建读头光路并进行仿真分析,获得相干相位图样,从而验证了该读头结构的可行性。通过MATLAB与ZEMAX进行动态数据交换,实现该读头测量的信号对比度仿真,测量信号的对比度为0.426。
文章关键词:
项目基金:《光学精密工程》 网址: http://www.gxjmgc.cn/qikandaodu/2022/0120/927.html
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